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PlanarHD气浮平台
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PlanarHD气浮平台
1*大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2*快的转向和*小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm
更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健186(1288)599
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